由清华大学朱煜教授主持完成的“纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用”项目获得一等奖，该成果突破了纳米运动精度超精密光刻机双工件台系列关键技术，使我国成为世界上第二个掌握双工件台研制技术的国家，有力支撑国产高端光刻机研发及产品化，近三年实现直接经济效益2.3亿元，这一成果成为国产高端光刻机自主创新与战略发展的一个重要里程碑，推动我国集成电路制造装备这一战略产业的自主发展。由清华大学朱煜教授主持完成的“纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用”项目获得一等奖，该成果突破了纳米运动精度超精密光刻机双工件台系列关键技术，使我国成为世界上第二个掌握双工件台研制技术的国家，有力支撑国产高端光刻机研发及产品化，近三年实现直接经济效益2.3亿元，这一成果成为国产高端光刻机自主创新与战略发展的一个重要里程碑，推动我国集成电路制造装备这一战略产业的自主发展。
